LMSystek >제품안내> 헬륨리크디렉터
   
 
 
 
 
 PRO02  MR15  MD30
 감도:5 Χ 10 -12 atm.cc/sec  감도:5 Χ 10 -12 atm.cc/sec  감도:5 Χ 10 -12 atm.cc/sec
 최대Test 시작 진공도:
 10 Torr		  최대Test 시작 진공도: 10 Torr  최대Test 시작 진공도: 10 Torr
 전자동 operation,

 자동 Calibration

  전자동 operation,
 자동 Calibration		  전자동 operation,
 자동 Calibration
 Response time: 0.5초 이하  Response time: 0.5초 이하  Response time: 0.5초 이하
 진공 펌핑 능력:
 70 l/s Turbo pump및
 34 l/m Rotary vane pump		  진공 펌핑 능력:
 70 l/s Turbo pump및
 232 l/m Rotary vane pump		  진공 펌핑 능력:
 70 l/s Turbo pump및
 500 l/m Dry scroll pump
 한글 운영체계: 영어,중국어가능  한글 운영 체계: 영어,중국어가능  한글 운영 체계: 영어,중국어가능
 분리 흐름(split flow)보상기능  분리 흐름(split flow)보상기능  분리 흐름(split flow)보상기능
 무선 Remote controller 가능  무선 Remote controller 가능  무선 Remote controller 가능
 데이터 PC 저장기능  데이터 PC 저장기능  데이터 PC 저장기능